Seit mehr als 10 Jahren produziert BERLINER GLAS Wafer Chucks für modernste Lithographie Systeme, vor allem für den Bereich der Immersion Lithographie, sowie kritische Chucks für Masken.

BERLINER GLAS arbeitet seit Jahren an der Entwicklung von Chucks. Unsere Entwickler kennen sich mit den Richtlinien und dem mathematischen Modellbau von Chucks, der Materialauswahl und der Erprobung, dem mechanischen und thermischen Design, dem Beschichtungs-Design, sowie der elektrischen Steuerung aus.

Test-Teile und Prototypen werden in unserem hochmodernen Entwicklungslabor, sowie in Teilen unserer Produktion hergestellt.

• Funktionelle Messungen im Stack
• Verwendung hochpräziser Referenzwafer und -masken
• Chuck- und Waferreinigung, um Ebenheiten von 100 nm global und 2 µrad lokal zu gewährleisten
• 12 Zoll Vertikalinterferometer
• Phasenschiebende Interferometer bis 24 Zoll horizontalem und 12 Zoll vertikalem Strahlengang
• Kundenspezifische Software für die Bewertung spezifischer lokaler Ebenheiten verfügbar
• Messung elektrischer Eigenschaften